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SINGULUS TECHNOLOGIES erhält Auftrag für ein modulares TIMARI

Beschichtungssystem zur Fertigung magnetischer Sensoren

14.05.2025 / 08:00 CET/CEST

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Pressemeldung

SINGULUS TECHNOLOGIES erhält Auftrag für ein modulares TIMARI

Beschichtungssystem zur Fertigung magnetischer Sensoren

Kahl am Main, den 14. Mai 2025

Die SINGULUS TECHNOLOGIES AG gibt den erfolgreichen Auftragseingang für ein

TIMARIS-System für einen wichtigen Halbleiterkunden bekannt. Die modulare

Anlage besteht aus im Markt bewährten komplexen Prozessmodulen sowie einem

Wafer-Handling-System, das im Vakuum arbeitet. Damit werden unterschiedliche

ferromagnetische und antiferromagnetische Materialien abgeschieden, was ein

wesentlicher Schritt der Herstellung magnetischer Sensoren ist. Da

Auftragsvolumen liegt im mittleren einstelligen Euro-Millionenbereich.

Ein wesentlicher Vorteil des TIMARIS Systems von SINGULUS TECHNOLOIGIES ist

die Möglichkeit hochpräzise Schichtstapel mit vielen sehr dünnen Schichten

aufzubringen, ohne das Ultrahochvakuum unterbrechen zu müssen - dadurch

werden die hohe Reinheit der einzelnen Schichten und die gute Produktivität

in der Serienproduktion sichergestellt. Zusätzlich stehen Optionen für

Hochtemperaturabscheidungen sowie zur exakten magnetischen Ausrichtung der

Orientierung magnetischer Schichten zur Verfügung. Die TIMARIS Plattform von

SINGULUS TECHNOLOGIES hat sich bewährt als ein Werkzeug zur Abscheidung

höchster Materialhomogenität über große Wafer-Flächen. Die präzise Kontrolle

dieser ultradünnen Schichtdicken gelingt sogar bis in Sub-