igo Stuttgart – Der niederländische Halbleiterkonzern ASML hat sich für 1 Mrd. Euro mit 24,9 % an Zeiss SMT, einer Tochter des Optikkonzerns Zeiss aus Oberkochen, beteiligt. SMT steht für Semiconductor Manufacturing Technology, in der Tochter bündelt Zeiss die Entwicklung von Technologien für die Fertigung von Mikrochips. Ein Schwerpunkt ist dabei die Forschung an sogenannten Extreme-Ultraviolet-Lithografie-Systemen. Über die Beteiligung hinaus habe ASML keine Rechte auf weitere Anteile.ASML und Zeiss forschen seit einigen Jahren gemeinsam mit dem Ditzinger Anlagenbauer Trumpf an EUV-Lithografie-Systemen. Dabei stellt Zeiss die Optik, Trumpf die Laser zur Belichtung der Halbleiterwafer und ASML die Maschinen zur Chip-Produktion. Die EUV-Technologie ermöglicht es, die Leistungsfähigkeit der Chips bei gleichzeitig sinkenden Kosten zu steigern.Alle drei Konzerne setzen große Hoffnungen in die Technologie, die schon vor Jahren angekündigt wurde. Visionen von komplett vernetzten Fabriken oder dem Internet der Dinge sind nur realistisch, wenn die dafür benötigten Chips kleiner und leistungsfähiger werden. Während die Leistungsfähigkeit bisher verbessert wurde, indem immer feinere Strukturen aus den Siliziumscheiben herausgeätzt wurden, verfolgen ASML, Trumpf und Zeiss einen anderen Ansatz: Sie verkürzen durch den Einsatz der EUV-Laser die Wellenlänge des für die Lithografie verwendeten Lichts, wodurch noch mehr Information auf einen Chip passt. Nur drei Konzerne forschenWeil die Forschung an der Technologie kostenintensiv und langwierig ist, beschäftigt sich etwa der japanische Optikkonzern Nikon längst nicht mehr damit. ASML, die laut einem Sprecher noch keinen Cent mit EUV-Maschinen verdient hat, hat seit Forschungsbeginn vor 10 Jahren rund 5 Mrd. Euro investiert. Bei Trumpf fließt ein dreistelliger Millionenbetrag in die Entwicklung der Lasersysteme und den derzeitigen Bau eines Gebäudes für deren Produktion in Ditzingen. Allein: Bislang war es den Unternehmen nicht gelungen, die Lichtquelle in einem für die Serienproduktion nötigen Maß stabil zu halten.Diese Stabilität soll laut ASML bald erreicht werden. Bei einzelnen Kunden liege die Laufzeit der Prototypen bereits bei mehr als 80 % von 24 Stunden, so ein Sprecher. Wirtschaftlich ist die Produktion in der Regel bei einem Ausstoß von 5 000 Chips am Tag und einer Laufzeit von 90 %. Die derzeitige Generation der Technologie solle daher 2018 oder 2019 auf den Markt kommen.Durch die Beteiligung wollen ASML und Zeiss bereits die Entwicklung der nächsten Generation von EUV-Systemen beschleunigen, die in der ersten Hälfte des nächsten Jahrzehnts abgeschlossen sein soll. Daher investiert ASML bei SMT in den nächsten sechs Jahren zusätzlich 220 Mill. Euro in die Forschung und 540 Mill. Euro in Maschinen, Gebäude und Prozesse.Trumpf sieht die Beteiligung als eine Bestätigung, dass der Durchbruch der Technologie bevorstehe. Dieser könnte den beteiligten Konzernen einen deutlichen Schub bringen. Zeiss-Vorstandschef Michael Kaschke sagte jüngst in einem Interview mit der FAZ, dass sich der Zeiss-Umsatz mit Systemen für die Halbleiterbranche durch die Markteinführung der aktuellen Technologie auf 2 Mrd. Euro verdoppeln könnte. Am Donnerstag sprach er von einem “deutlich beschleunigten Wachstum” des Bereichs. ASML dagegen erwartet, ab 2020 jährlich bestenfalls 50 und schlimmstenfalls 20 Maschinen zur Herstellung von Chips mit EUV-Technologie verkaufen zu können. Bei einem Wert von etwa 100 Mill. Euro je Anlage entstünde ein Umsatzpotenzial von bis zu 5 Mrd. Euro.