Erstmals seit 21 Jahren hat Canon ein neues Werk für Litografiemaschinen eröffnet. Nördlich von Tokio produziert der japanische Drucker- und Kamerahersteller ab September Maschinen für Waferbelichtung und Chipbündelung. Bei Investitionskosten einschließlich Ausrüstung von 50 Mrd. Yen (290 Mill. Euro) will man den vollen Betrieb 2027 erreichen. Damit verschärft Canon den Wettbewerb mit ASML, dem niederländischen Weltmarktführer für Litografiemaschinen. „Diese Geräte vereinen alle unsere technologischen Fähigkeiten“, sagte Konzernchef Fujio Mitarai bei der Eröffnungsfeier.

Canon und der japanische Rivale Nikon dominierten Ende des 20. Jahrhunderts den weltweiten Lithografiemarkt, aber verloren in den 2000er Jahren den Wettlauf um die Miniaturisierung gegen ASML. Mit 30% Absatzanteil am Weltmarkt ist Canon aber immer noch die Nummer zwei. ASML ist jedoch bisher der einzige Produzent von Extrem-Ultraviolett-Litografiesysteme für die feinsten Linienbreiten von Schaltkreisen.

Canon hat den Vorsprung von ASML dank einer eigenen Nanoimprint-Technologie in einem Sprung aufgeholt. Das neue Werk wird diese Nanoimprint-Maschinen produzieren. Sie pressen Schaltkreismuster wie ein Stempel auf die Wafersubstrate und sind im Vergleich zu den ASML-Geräten kleiner, preisgünstiger und verbrauchen viel weniger Energie.

Mit dem neuen Werk will Canon auch den Ausstoß der etablierten Krypton-Fluor-Litografiegeräte erhöhen und dadurch stärker am KI-Boom teilhaben. Für eine höhere Rechenleistung der KI-Datenzentren kombinieren die Chiphersteller inzwischen Prozessoren und Speicher zu Modulen. Diese Bündelung erfordert eine sogenannte Interposer-Schicht, die Chip und Substrat verbindet. Canon erkannte frühzeitig, dass seine Litografiegeräte die Verdrahtung für diese Schicht herstellen können. Der weltgrößte Chipfertiger TSMC und andere Hersteller sind bei diesem Backend-Prozess für KI-Module auf Canon-Technik angewiesen.

In diesem Jahr will Canon insgesamt 225 Litografiemaschinen verkaufen, ein Plus von 9% zum Vorjahr. Laut Manager Hiroaki Takeishi machen die Backend-Geräte derzeit 30% der Verkäufe aus. Mit dem neuen Werk wächst die jährliche Produktionskapazität auf mehr als 300 Einheiten. Allerdings meldet sich mit Nikon ein alter Rivale zurück, der ab 2028 ein Litografiesystem produzieren will, das mit ASML-Produktion kompatibel ist.